MEMS是此領域中較新的應用技術,經過近幾年的發(fā)展,MEMS Chip的生產工藝已經趨于成熟,有力地推動了MEMS VOA的應用。在光網絡中應用,以MEMS技術為基礎的產品也具有明顯的價格和性能上的優(yōu)勢。MEMS VOA有反射式VOA和衍射式VOA。我司自主研發(fā)生產的MEMS VOA 具有高性能,低插損等優(yōu)點。
反射式VOA的工作原理:它是在硅基上制作一塊微反射鏡。以unblocking型VOA為例。光經過雙光纖準直器的一端進入,以一定角度入射到微反射鏡上,當施加電壓時,微反射鏡在靜電作用下被扭轉,傾角改變,入射光的入射角度發(fā)生改變,光反射后能量不能完全耦合進雙芯準直器的另一端,達到調節(jié)光強的目的;而未加電壓時,微反射鏡呈水平狀態(tài),光反射后能量完全耦合進雙芯準直器的另一端。